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전기연구원, 마이크로파 유도가열기술 개발에 성공
김진철 기자  |  kjc@energytimes.kr
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승인 2017.11.13  14:26:58
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【에너지타임즈】전기연구원이 전자레인지 등에 사용되는 마이크로파를 고효율의 첨단 열처리공정에 활용할 수 있는 마이크로파 유도가열기술개발에 성공했다.

한국전기연구원은 1㎛(마이크로미터) 이하 전도성 나노박막을 1초 이내에 섭씨 1000℃ 이상으로 열처리할 수 있는 마이크로파 유도가열기술을 개발한데 이어 최근 국내 관련 기업에 이 기술을 이전했다고 13일 밝혔다.

마이크로파 유도가열기술은 금속 등의 전도성 소재로 이뤄진 박막을 순간적으로 고온으로 가열할 수 있는 기술이다.

기존 유도가열기술은 수십 kHz(킬로헤르츠) 수준의 주파수를 가지는 자기장을 만들어 금속 소재를 가열하는 방식으로 1mm이상의 두꺼운 소재에만 적용할 수 있었을 뿐만 아니라 1㎛ 이하의 얇은 두께를 가지는 나노박막의 경우 100% 투과로 가열할 수 없었다.

다만 이번에 개발된 이 기술은 열처리가 필요한 전도성 박막만을 선택적으로 순간적으로 고온 가열할 수 있는 한편 나노미터 수준의 두께를 가지는 얇은 전도성 박막을 1초 이내에 섭씨 1000℃이상의 온도로 빠르게 열처리할 수 있다. 또 전도성 박막이 있는 기판을 공진기 위해 올리기만 하면 가열할 수 있어 아무리 넓은 기판이더라도 가열위치를 옮기며 열처리를 할 수 있다.

김대호 전기연구원 선임연구원은 “이 기술의 지속적인 연구를 통해 전도성 박막뿐만 아니라 반도체 박막 등 다양한 소재의 열처리가 가능하도록 기술을 개발할 계획”이라면서 “마이크로파 유도가열 기술은 앞으로 관련 소재산업에 새로운 발전동력이 될 수 있을 것”으로 기대했다.
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